La seigneurie de Villiers est attestée en 1224 lorsque Guérin de Villiers donne une dîme aux moines d'Evron. Elle échoit par mariage à Lancelot du Tertre à la fin du XVe siècle ou au début du XVIe : il est le commanditaire de la reconstruction du manoir, en 1516 si l'on en croit la date portée sur une pierre peu lisible scellée dans la souche de cheminée nord refaite au XIXe siècle ou au XXe siècle. Mais le style des lucarnes porte à reporter la réalisation des travaux au milieu du XVIe siècle, à l'époque du fils de Lancelot, Jean du Tertre. Passée au milieu du XVIIe siècle à Esther des Vaux, veuve de René d'Urban puis aux seigneurs d'Aubigné, Villiers est racheté avant 1766 par Jacques Duchemin de la Maison-Neuve. Celui-ci fait reconstruire la chapelle en 1766 (date portée). Il est peut-être aussi à l'origine du remaniement réalisé sur le manoir. En effet sa distribution au milieu du siècle est connue grâce à la foi et hommage que rend la précédente propriétaire Louise de Biars au comte de Laval le 3 mai 1748. Il est alors composé "d'un grand corps de bâtiment distribué d'une grande salle d'entrée avec cheminée, une cuisine au bout de la dite salle avec un four en cheminée, un office [sans doute dans le pavillon], deux chambres par haut, deux cabinets, grenier sur le tout, une tour au derrière du dit bâtiment où est l'escalier". C'est donc dans la deuxième moitié du XVIIIe siècle qu'interviennent la réduction de la tour à un seul niveau, le déplacement de l'escalier et aussi vraisemblablement la création aux deux niveaux d'un couloir central pris au rez-de-chaussée sur la grande salle. Le corps de bâtiment situé dans l'alignement du logis, sans doute l'ancien logis du fermier, peut remonter au XVIIe siècle. Il était en partie en ruine en 1748 : "un autre bâtiment édifié après coup au pignon de cheminée de la dite salle d'entrée, partie en ruine ne servant présentement que de cave et de loge au pressoir et une écurie au bout, les planchers de la dite chambre étant tombés". Dans son prolongement se trouve une étable très transformée au XIXe siècle. Elle occupe probablement l'emplacement de la "grange autour de laquelle sont les étables aux boeufs, aux vaches et aux taureaux" de 1748 car l'expression "le tout sont [ ? ] mêmes faîtes construit de pierre et couvert de bardeaux entre la cour cy-après et la prée de la Sensie" semble s'appliquer à l'ensemble des constructions situées alors au nord du logis. L'étable-grange qui borde la cour au nord a été probablement édifiée dans la deuxième moitié du XVIIIe siècle ou la première moitié du XIXe siècle. Elle a été remaniée et allongée au cours de la deuxième moitié du XIXe siècle. L'étable-grange sud date de 1822 (date portée sur le mur-pignon ouest). Son édification a peut-être été rendue nécessaire par la partition des lieux en deux fermes (réunies aujourd'hui) après la révolution. La douve qui entourait la cour en 1748 a été partiellement comblée avant 1842, puis complètement lors de la construction de la remise dans la deuxième moitié du XIXe siècle. La fuie située en 1748 "au-devant" de la cour a disparu.